本发明涉及一种基于同轴硅通孔和螺旋电感的三维低通滤波器,包括至少一个滤波器单元,所述滤波器单元包括自上而下依次设置的顶层、半导体衬底层和底层,其中,所述顶层上设置有顶层螺旋电感,所述半导体衬底层上设置有贯通上下表面的硅通孔结构,所述底层上设置有底层螺旋电感,所述顶层螺旋电感通过所述硅通孔结构与所述底层螺旋电感对应连接。本发明的三维低通滤波器,采用三维堆叠的方式,使电感器和电容器有机结合,大幅减小了芯片面积和尺寸,降低了加工成本低,提高了集成密度,降低了互连损耗。
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