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摘要
论述了采用射频磁控溅射技术在316L不锈钢上制备Zr C涂层的技术。通过X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)等实验,研究了Zr C涂层的物相、微观结构、表面形貌和元素组成等特征;通过纳米压痕、电化学腐蚀和耐磨性等实验,研究了Zr C涂层的硬度、耐腐蚀性和耐磨性。本论文旨在探究C含量对Zr C涂层结构和性能的影响规律。
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单位中国船舶重工集团公司; 银川能源学院; 中国航发哈尔滨轴承有限公司
