微机电系统压力传感器抗干扰系统设计

作者：冒晓莉; 吴其宇; 谢晓璐; 张加宏^*

来源：科学技术与工程, 2021, 21(36): 15503-15508.

• 微机电系统(MEMS)压阻式压力传感器
• 抗干扰系统
• 温度漂移误差
• 时间漂移误差

鉴于传统的硅基微机电系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)压阻式压力传感器普遍存在温度漂移和时间漂移误差,采用恒温控制和恒流源自校正方法针对上述问题设计和研究了一种MEMS压力传感器抗干扰系统。首先,简单介绍了传感器的各项参数和温漂、时漂原理。其次,设计并制作了传感器相关外部抗干扰电路。最后,对该系统进行实验测试。结果表明:抗干扰系统能减小传感器温漂和时漂误差,热零点漂移的绝对值由恒温前的0.0652%FS/℃降至恒温后的0.00788%FS/℃,热灵敏度漂移的绝对值由0.118%FS/℃降至0.0153%FS/℃,时漂补偿后预测误差由-3.436～0.875 kPa降低至-2.086～1.765 kPa。该设计对MEMS压力传感器温漂、时漂补偿等抗干扰方面的研究具有一定参考价值。

• 单位
  南京信息工程大学