三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用N-甲基吡咯烷酮中14种金属杂质的含量

作者：李春华; 高一鸣; 郝萍; 田玉平; 曹建雄; 李杰^*

来源：理化检验. B, 化学分册, 2023, 59(09): 1073-1076.

• N-甲基吡咯烷酮(NMP)
• 三重四极杆电感耦合等离子体质谱法
• 金属杂质
• 先进制程

提出了有机加氧进样系统结合三重四极杆电感耦合等离子体质谱法测定集成电路用N-甲基吡咯烷酮(NMP)中Na、Cd、Pb、Mg、Al、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、K等14种金属杂质含量的方法。通过氧气在线燃烧的方式降低了碳沉积对锥口的影响，采用标准加入法匹配基体效应，使用冷等离子体-氨气碰撞反应模式解决了碳元素质谱干扰的问题，如12C12C+对24Mg+的干扰，12C40Ar+对52Cr+的干扰。14种元素的加标回收率为83.2%～123%,14种元素工作曲线的相关系数均大于0.999 0,方法可用于分析杂质元素质量分数低于20.00 ng·kg-1的样品，满足先进制程的质量要求。

• 单位
  上海市计量测试技术研究院