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摘要
采用溶胶凝胶(sol-gel)法制备出不同Nb掺杂浓度的Nb:TiO_2薄膜,再经过后续H2退火提高结晶性能。用X射线衍射(XRD),X射线光电子谱(XPS),扫描电子显微镜(SEM),霍尔仪和紫外可见分光光度计检测分析样品的形貌和性能,其中包括结晶性能、元素价态、电学性能和透过率。结果显示,掺Nb的TiO_2薄膜的导电率随Nb浓度的增加而降低,当掺Nb浓度为8%时,样品具有最优异的性能,其方块电阻可以达到约4.2×104?/□,透过率高达70%左右。
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单位硅材料国家重点实验室; 浙江大学
