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摘要
目前相位测量轮廓术中条纹周期数的选择主要依靠定性方法,难以获得最优效果及系统的应用。本文提出了一种基于误差模型的条纹周期数定量选择方法。该方法首先根据相位测量轮廓术的误差来源建立相位误差模型,利用相位误差模型计算出最大相位误差。其次通过最大相位误差与相位展开算法的约束关系推导出条纹周期数约束方程。最后根据计算出的最大相位误差与条纹周期数约束方程的相互关系,估计出最优正弦条纹周期数。实验结果表明:使用由本文方法选择出的条纹周期数,得到标准平板的最佳平面拟合结果的标准差为0.03 mm,相较于传统方法,降低了44.4%。本文所提方法能够有效提高相位测量轮廓术的测量精度。
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