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摘要
以阴极电弧离子镀技术为依托,以绝缘氧化物薄膜的制备工艺研究为目的,试验利用脉冲磁复合磁场技术,对氧化物薄膜制备工艺过程进行研究。结果表明:采用阴极电弧离子镀技术可以实现多种绝缘氧化物薄膜的制备;阴极电弧氧化物涂层过程中薄膜具有外延生长的特征,AlTiN有利于促进氧化物薄膜的快速生长,α-Cr2O3的结晶结构和晶格参数与α-Al2O3相近,可促进α-Al2O3的生成;AlTiO的沉积速率1.2～1.875μm/h·CAE,ZrO2沉积速率1.833μm/h·CAE;可以实现柱状晶ZrO2薄膜及多元氧化物薄膜的制备,氧化物薄膜隔热功能效果显著,可对热端零部件形成有效的温度保护,AlCrO/ZrO2高温相结构稳定性较好;在高温条件下,亚稳态Al2O3薄膜体系存在向α稳定相转换的趋势;AlTiO薄膜具有优异的化学稳定性及抗粘结性能;CAE脉冲磁复合磁场技术可与传统阴极电弧技术结合,形成多元金属膜、氮化物硬质膜、氧化物薄膜的涂层制备体系,并可实现工业化生产。
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