一种基于超表面集成的中红外热释电探测器

作者:邹永图; 周绍林; 陈志坚; 李斌; 李富华
来源:2022-09-30, 中国, CN202211211005.X.

摘要

本发明公开了一种基于超表面集成的中红外热释电探测器,由超表面像元阵列构成,阵列中每个超表面像元包括:上电极板,采用金属制成,包括谐振双环;谐振双环的结构作为超表面像面结构;介质层,采用热释电材料制成;下电极板,采用金属制成;介质层设置在上电极板和下电极板两个金属层之间;电磁波沿上电极板射入中红外热释电探测器;超表面像面结构对入射的电磁波进行吸收;上电极板、介质层和下电极板形成谐振腔,谐振腔对进入腔内的电磁波进行吸收。本发明通过超表面谐振模式与腔体模式耦合,实现并增强层间热释电材料的宽带电磁吸收,提升了探测器在目标波段的宽带吸波效率与探测效率。本发明可广泛应用于红外探测技术领域。