X射线能量色散谱分析

来源：金属热处理, 2023, 48(10): 65.

<正>X射线能量色散谱仪(Energy dispersive X-ray spectroscopy, EDS),简称能谱仪，是扫描电镜和透射电镜的基本配置。应用能谱仪可以对材料的化学成分进行定性和定量分析，利用电子通道效用可以分析原子在有序晶体中的晶格位置。分析型透射电镜的重要附件还包括电子能量损失谱仪(Electron-energy-loss spectroscopy, EELS)。与X射线能量色散谱分析功能比较，电子能量损失谱更适合材料中轻元素的定性和定量分析，