基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真

作者：耿博耘; 刘锋; 吕菲; 韩焕鹏

来源：光电子技术, 2012, (03): 160-165.

DOI：10.19453/j.cnki.1005-488x.2012.03.004

• PERL技术
• 硅基PIN光电二极管
• SUPREM-IV模拟仿真 PERL technology
• silicon PIN photodiode
• SUPREM-IV simulation

缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展。分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工艺。使用SUPREM-IV仿真器对该器件进行了模拟仿真,讨论了I层的长度与厚度对器件性能的影响。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十六研究所