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摘要
本发明公开了一种基于温度补偿结构的气体传感器,主要解决现有气体传感器温度分布不均的问题,其包括硅衬底(1)、下绝缘层(2)、温度补偿结构加热电极(3)、上电极板(9)、下电极板(4)、上绝缘层(5)、覆盖层(6)、保护层(7)、测试电极(8)、测试极板(10)、加热平台(15)、悬臂(16)和气敏膜(17),该硅衬底通过腐蚀形成空气绝热槽(11),该覆盖层中间设有通孔阵列(12)和空气隔热层(13),该下电极板与上电极板之间设有接触孔(14),该温度补偿结构加热电极由自内向外厚度逐渐减小的m圈电极组成。本发明温度分布均匀、功耗低,可用于化工生产和安全家居领域中对化学气体的监测。
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