摘要

采用世界上先进的改良西门子技术,对三氯氢硅精馏过程进行多塔除轻、除重,并采用加压的分离方式。这种精馏技术,可以实现产品质量大幅度的提高,硼、磷含量降低到极低,实现了大规模提高经济效益的目的。

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