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摘要
为进一步提高大气环境调频非接触模式原子力显微镜(frequency modulated non-contact atomic force microscope)样品表面形貌表征能力。本文基于大气环境光路调节系统设计了高精度驱动位移调节装置,采用多块堆叠的切向压电陶瓷实现了stick-slip高精度驱动方式,调节精度达到了2.6 nm/V,其精度高于常规步进电机,使得悬臂反射率达到26%。基于该高精度位移调节装置设计,系统实现了谐振频率检测与反馈,其中共振频率f0=158.73 kHz,半高宽ω=373.2 Hz,品质因数Q=564,系统最小检测灵敏度达到80 mHz,系统电压噪声密度约为■,系统整体噪声为■。为表征样品形貌奠定了基础。
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