一种用于MEMS流量传感器的ΣΔADC

作者：王亚林; 杨拥军; 任臣; 李博

来源：电子设计工程, 2019, 27(07): 162-166.

DOI：10.14022/j.cnki.dzsjgc.2019.07.035

• MEMS流量传感器
• ΣΔ模数转换(ADC)
• dither
• 抽取滤波器
• 信噪比

为了实现MEMS器。阐述了MEMS调制器动态性能。对调制器的各种非理想因素分析,建立非理想模型,仿真结果表明:过采样率为512,调制器信噪比达到106 dB。设计了CIC+IIR64倍降采样,滤波器输出数据有效位数达到16 bits。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十三研究所