本文从基本原理出发,提出了两种有效提高能谱空间分辨率的方法:一种是降低加速电压,减小特征X射线激发区域的深度和宽度;另一种是减小样品厚度,使大部分入射电子穿透样品,避免其在样品内部的散射。应用热场电镜能谱系统,提供了两种方法的具体案例。在相同实验条件下,适当降低加速电压能够明显提高能谱空间分辨率,并且被测物的密度越小其提高效果越明显;减小样品厚度也能够明显提高能谱空间分辨率。本研究为应用热场电镜能谱对纳米材料元素分布分析提供了更完善的思路。
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