为提高零件几何量精密测量的准确性,设计一个基于光谱共焦位移传感器的零件几何量精密测量方法。首先提出光谱共焦位移传感器的工作原理,利用其工作原理开展测量工作,然后确定被测物允许的最大倾斜角度,最后通过质心法与抛物线拟合法实现零件几何量精密测量。实验对比结果表明,此次研究的基于光谱共焦位移传感器的零件几何量精密测量方法有效提高了零件几何量精密测量的准确性,并减少了测量时间,实际应用意义较强。
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