表面疵病是衡量超精密加工表面完整性的重要指标之一。暗场成像是表面疵病检测的有力手段,但由于显微镜视场有限,难以进行全域缺陷检测,不能全面评价表面质量。提出选用SURF方法对子区域图像进行特征分析,对相邻子区域图像进行配准拼接,可以获得高质量的全域暗场图像。研究表明,SURF配准拼接具有良好的鲁棒性,而且计算速度较快,可实现超精密加工表面的全域疵病检测,具有很高的实用性。
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