激光干涉仪在XY工作台测量中的应用

作者：金黎雷

来源：电子工业专用设备, 2020, 49(05): 37-41.

• 纳米级
• 激光干涉
• 位移测量

激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所