磁控溅射NbSiN复合膜的微结构和性能

作者：喻利花; 苑彩云; 许俊华

来源：材料工程, 2013, (07): 35-39.

• NbSiN
• 磁控溅射
• 微结构
• 力学性能
• 摩擦磨损性能 NbSiN
• magnetron sputtering
• microstructure
• mechanical property
• tribological property

用磁控溅射方法制备了一系列不同Si含量的NbSiN复合薄膜。采用色散能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪表征复合膜的成分、微结构、力学性能以及室温和高温摩擦磨损性能。实验结果表明:NbSiN复合膜中只存在面心立方NbN结构,且呈(200)择优取向;Si的加入使复合膜硬度得到提高,Si含量为20.29%(原子分数)时硬度达到最大值32.1GPa,随着Si含量的进一步增加,复合膜的硬度逐步降低。室温和高温摩擦磨损实验结果表明,在室温时,NbSiN复合膜的平均摩擦因数在0.60～0.68之间,波动不大;而在650℃时,随着Si含量的增加,复合膜的平均摩擦因数从0.57降至0.42;650...

• 单位
  江苏科技大学