电子器件的自动除尘设备设计

作者：刘蔚然

来源：集成电路应用, 2022, 39(07): 236-237.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.07.105

• 环境工程
• 自动除尘
• 电子器件

阐述在元件生产过程中，自动化清尘设备的研发，包括机械模块、软件模块、电气模块的合理设计，不断完善除尘系统的功能，从而提升除尘系统的自动化性能。

• 单位
  长沙市轨道交通运营有限公司