微压印过程中抗蚀剂流动分析

作者：温聚英; 魏正英; 熊孝东; 杜军; 卢秉恒

来源：中国机械工程, 2010, (04): 463-469.

• 微压印
• 抗蚀剂流动
• 占空比
• 单双峰
• 宽厚比 micro imprinting
• flow behavior
• mold duty ratio
• single-dual peak
• width/thickness ratio

为研究微压印过程中低黏度抗蚀剂流动状态对微压印成形精度的影响,对常温压印过程中抗蚀剂流动进行了有限元分析,系统研究了不同结构的模板占空比、宽厚比等压印工艺条件对抗蚀剂填充的影响,以及抗蚀剂流动对软模具的变形影响,得到了单双峰转换曲线及模具结构对抗蚀剂填充效率的影响曲线,从理论上分析了抗蚀剂流动特性,并进行了实验验证,进一步证明了仿真方法的可行性。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室