论文利用隧道磁阻效应设计了一种高分辨率的双轴微机械加速度计。该加速度计基于正交回折形线圈产生的高变化率磁场实现对x、y方向输入加速度的独立检测;其次阐述提出的新型多桥路隧道磁阻结构,通过理论仿真计算验证该新型桥路结构不但可抑制静态磁场的干扰,且具有更明显的差分放大作用;最后,通过有限元仿真及相关参数计算,验证了加速度计工作的可行性,并证明该加速度计具有较高灵敏度及抗干扰能力。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
