一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波压力传感器

作者：禹忠; 蒋庄德; 李蓉; 王海容

来源：半导体光电, 2010, (04): 526-529+534.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2010.04.008

• 抗共振反射光波导
• 压力传感器
• 有限元方法
• 束传播法 anti-resonant reflecting optical waveguide(ARROW)
• pressure sensors
• finite element method(FEM)
• beam propagation method

为了缩短传感器尺寸,提高耦合效率,提出了一种三维Mach-Zehnder型抗共振反射光波(ARROW)压力传感器。该传感器为一个金属分割的层叠ARROW结构以及两个3dB垂直耦合器组成的Mach-Zehnder干涉仪。利用有限元方法(FEM)研究、分析了硅弹性膜片应力分布,确定传感器的结构设计参数。使用BPM分析由光弹性效应引起输出变化及其与压力之间的关系。结果表明,该传感器可通过调整垂直耦合器的长度来调节耦合效率,无需弯曲波导,可降低器件尺寸,实现压力检测。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室