冷氢化装置氯硅烷除杂设备改进研究

作者：侯晨辉; 李维; 李永; 云森

来源：现代制造技术与装备, 2023, 59(06): 159-161.

DOI：10.16107/j.cnki.mmte.2023.0355

• 多晶硅
• 冷氢化
• 金属氯化物
• 过滤器
• 烘烤

主要介绍多晶硅生产技术冷氢化工艺中金属氯化物对急冷塔过滤器运行的影响，结合金属氯化物特性和生产实际改造过滤器，通过烘烤过滤器的形式解决滤芯清洗再生的难题，增强系统长周期运行的稳定性。

• 单位
  陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司