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摘要
标准光源在光轨上的精确定位是光学测量系统的重要组成部分,执行机构需要运行平稳、噪音低、定位精度高。根据系统要求,设计实现了基于CPLD和MCU的位置闭环控制系统。系统以CPLD作为光栅信号采集、步进电机变频输出等辅助数字系统,在MCU控制和处理下,实现了由光栅反馈信息,经模糊算法、变频处理后驱动步进电机的全闭环跟踪过程,同时系统还设计有与上位机数据交换和无线遥控等功能。实践表明:系统震动小、噪音低、运行平稳、定位精度高,采用栅距0.05mm的光栅,其重复定位不确定度≤0.1mm。
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单位中国测试技术研究院
