MEMS陀螺仪的功能原理及市场应用

作者：黄杜

来源：中国集成电路, 2021, 30(12): 76-85.

• MEMS陀螺仪
• 驱动幅度
• 智能时代

人工智能、物联网时代的到来使MEMS陀螺仪有了新的更广泛的应用,MEMS陀螺仪具有小尺寸、低功耗、低沉本、高性价比的特点,更容易商用化、民用化。高精度MEMS陀螺仪满足了人们对于美好生活的需要。介绍了MEMS陀螺仪的功能原理、驱动幅度控制的奥秘以及在消费电子领域典型的市场应用。