溶胶-凝胶法制备SrNb0.05Ti0.95O3薄膜及性能分析

作者：常亮亮

来源：商洛学院学报, 2014, 28(02): 40-52.

DOI：10.13440/j.slxy.1674-0033.2014.02.012

• SrNb0.05Ti0.95O3薄膜
• 溶胶-凝胶法
• 半导体

以Sr(OOCCH3)2·H2O,Ti(OC4H9)4·Nb(C2H5O)5为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了SrNb0.05Ti0.95O3(SNTO)薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60min退火形成立方钙钛矿结构。用XRD、SEM等进行了结构和形貌表征,证明了该薄膜是纳米晶体结构,制定了SNTO薄膜的最佳退火工艺。SNTO薄膜的介电特性分析:掺杂Nb5+能使SrTiO3转化为n-半导体。

• 单位
  陕西省尾矿资源综合利用重点实验室; 材料学院; 商洛学院