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摘要
本发明公开了一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管,包括：钝化层(1)、阳极接触金属(2)、关断栅极接触金属(3)、开启栅极接触金属(4)、栅氧化层(5)、P+短路区(6)、N+阳极区(7)、P-漂移区(8)、N-漂移区(9)、缓冲层(10)、衬底(11)以及阴极接触金属(12)。本发明通过引入双MOS栅结构,将器件的驱动控制从传统的电流型转变为电压型,有利于前端控制电路的设计、实现以及功耗的降低；且开启栅和关断栅独立工作,分别控制器件的开启和关断,有利于器件在开关或脉冲工作状态下的快速导通和关断,可以显著提高器件的工作频率。
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