星载高可靠性Ku波段GaN功率放大器芯片

作者：肖玮^*; 金辉; 余旭明; 陶洪琪

来源：固体电子学研究与进展, 2023, 43(01): 16-20.

DOI：10.19623/j.cnki.rpsse.2023.01.003

• GaN
• Ku波段
• 功率放大器
• 高可靠性
• 低压稳定

基于星载高可靠性的应用背景，采用0.20μm GaN HEMT工艺研制了一款12 V工作电压的Ku频段功率放大器芯片。利用电热结合的分析方法，确定了管芯结构及工作电压。基于Load-pull测试获得GaN HEMT管芯的最佳输出功率和最佳效率阻抗，设计了一种带谐波匹配的高效率输出匹配电路，并通过引入有耗匹配，研制出了低压稳定的级间匹配电路。芯片面积为2.8 mm×2.6 mm，管芯漏极动态电压仿真峰值低于30 V，实测结温小于80℃，满足宇航Ⅰ级降额要求。功率放大器在17.5～18.0 GHz、漏压12 V（连续波）条件下，典型饱和输出功率2.5 W，附加效率38%，功率增益大于20 dB，线性增益大于27 dB，满足星载高效率要求。