多功能磷化铟半导体材料的合成与表征

作者：高强; 毛彩霞; 薛丽; 吴涛; 胡永红

来源：华中师范大学学报(自然科学版), 2022, 1-12.

• 纳米结构
• n型
• 立方结构
• 结构特性
• 电学特性

利用化学喷雾热解法，在773K温度下，基于玻璃衬底沉积得到了磷化铟薄膜. 进一步研究发现，磷化铟薄膜为立方相多晶，并且优先取向(111)方向，其直接带隙为1.50 eV. 磷化铟薄膜呈现n型导电性，电阻率为5.18×10~(3 )Ω·cm. 因此，磷化铟薄膜材料在未来高频、大功率材料和光电子器件领域具有潜在应用.

• 单位
  咸宁职业技术学院; 环境科学与工程学院; 湖北科技学院