高气压激光维持氩等离子体实验与仿真

作者：王大智; 袁博文; 卢琪; 乔俊杰; 熊青^*

来源：电工技术学报, 2023, 38(09): 2541-2554.

DOI：10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.220818

• 激光维持等离子体
• 真空紫外辐射
• 光谱测量
• 零维模型
• *分子" name="keyword">Ar2*分子

激光维持等离子体(LSP)作为一种先进光源，具有高稳定性、宽光谱和高亮度的特点，应用价值高且广泛，例如基于LSP深紫外辐射的半导体表面高灵敏缺陷检测。LSP源的深紫外辐射产生过程及优化一直备受关注，实际测量较困难且有局限。该文以氩气LSP(气压>106 Pa)为例，结合实验光谱测量及零维全局模型，探究了氩气LSP自持放电过程，获取了准分子Ar2*的主要产生及消失路径，并研究了氩气气压与激光功率对Ar2*的影响机制，基于此预判了气压与激光功率对Ar2*126 nm深紫外辐射的优化趋势，指出提高气体压强是增强126 nm辐射强度的一种经济且有效的方式。

• 单位
  输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室; 重庆大学