硼及其协同掺杂金刚石块体的研究进展

作者:王志伟; 邹芹*; 李艳国; 尹育航; 陈红光; 王明智
来源:金刚石与磨料磨具工程, 2019, 39(06): 99-106.
DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.6.0017

摘要

掺入硼等杂质元素可以使金刚石获得半导体特性,利用高温高压法可以制备出性能优良的金刚石半导体材料。本文介绍了硼及其协同掺杂金刚石块体材料的研究现状,综述了掺杂对金刚石的形貌、结构及性能的影响,阐明了制备过程中影响掺杂金刚石质量的因素,展望了硼及其协同掺杂金刚石块体材料的应用前景。

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