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摘要
以大功率微系统为研究对象,开展了微流道结构的散热特性研究,以解决大功率微系统的高效热管理问题。首先,探讨了直线型、折线型、 S型和梯型等4种不同的微流道结构对微系统散热效果的影响;然后,分析了微流道数目、宽度和高度对微流道结构传热性能的影响。研究表明,S型微流道对扇出型微系统的散热效果优于其他微流道结构,综合考虑大功率微系统内最高温度和微流道内压降,在保持冷却流体流量为10 cm3/s不变的情况下,S型微流道数目为60,宽度为60μm,高度为250μm时达到最优散热效果,最高散热功率密度超过800 W/cm2。
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单位中国电子科技集团公司第五十八研究所
