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摘要
为了提高压电微机电系统（MEMS）扬声器的声压级，该文提出了一种新型的扬声器振膜结构，该结构由4个相同的扇环驱动单元和中间圆形质量块组成，并在上表面覆有一层柔性材料，形成刚性-柔性耦合封闭振动膜。优化该结构中圆形质量块半径r2和相邻扇环的相邻边夹角θ等参数。结果表明，当θ=50°,r2=700μm时，声压级最大。在保证振膜面积相同和谐振频率基本一致的情况下，与优化后的固支圆形多层振膜相比，该文所提出的新型结构声压级高5 dB。
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单位中国科学院大学; 中国科学院声学研究所; 声场声信息国家重点实验室
