晶圆磨削中TTV的优化方法

作者：刘子阳; 常庆麒; 崔洁

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(05): 7-55.

• 晶圆磨削
• 总厚度偏差
• 主轴角度

介绍了晶圆磨削原理,分析了TTV产生的原因,提出了在不同情况下晶圆TTV的调整方法,使主轴与承片台的角度的调整更加方便准确。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所