激光烧蚀技术在清洗、刻蚀等领域中应用广泛,具有高精度、高效率等优点。激光工艺参数对烧蚀过程影响较大,利用有限元数值计算可以节省时间、降低成本及优化参数。文章综述数值模拟激光烧蚀的研究现状,阐述常用的热源模型,展望了激光烧蚀数值计算的发展方向。