激光烧蚀数值计算的研究现状

作者:何超敏; 邱长军
来源:现代制造技术与装备, 2023, 59(02): 59-61.
DOI:10.16107/j.cnki.mmte.2023.0115

摘要

激光烧蚀技术在清洗、刻蚀等领域中应用广泛,具有高精度、高效率等优点。激光工艺参数对烧蚀过程影响较大,利用有限元数值计算可以节省时间、降低成本及优化参数。文章综述数值模拟激光烧蚀的研究现状,阐述常用的热源模型,展望了激光烧蚀数值计算的发展方向。

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