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摘要
利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlOx+Al+AlOx三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层形貌、膜层结合力和阻隔性的影响。采用扫描电子显微镜、能谱仪、3M标准胶带、透氧仪等测试仪器对膜层形貌和表层元素进行了表征和分析,并得到最佳工艺条件。结果表明:改进设备后沉积的AlOx+Al+AlOx/PET复合膜,可以有效的提高薄膜的阻隔性、致密性以及镀层与薄膜间的结合力。在本底真空8×10-4Pa、反应气压1×10-2Pa、电流80 A、过渡层氧气流量50 m L/min、盖层充气流量100 m L/min等工艺下蒸镀的AlOx+Al+AlOx/PET复合膜,膜层薄膜的结合力为1.52 N/mm,氧气透过率为1.1 cm3/(m2·day·atm),与传统铝膜相比,结合力提高2倍,阻隔性提高4.5倍。
- 单位
