类金刚石薄膜摩擦学性能影响因素及改善措施的研究进展

作者：周琼; 温亚东^*; 张而耕; 黄彪; 李耀东; 梁丹丹; 陈强

来源：机械工程材料, 2022, 46(10): 1-7.

• DLC薄膜
• 摩擦学性能
• 影响因素
• 表面织构
• 元素掺杂

类金刚石(diamond-like carbon,DLC)是一类含有金刚石结构(sp3杂化键)和石墨结构(sp2杂化键)的亚稳态非晶物质，具有高硬度、耐腐蚀、低摩擦因数、耐磨损等优良特性，但也存在着由于制备工艺、沉积参数等不同导致的内应力大、热稳定性差、摩擦学行为敏感等问题，大大限制了其产业化应用。从固有因素和外界因素2个方面综述了影响DLC薄膜摩擦学性能的因素，从异质元素掺杂、表面织构化等方面论述了改善DLC薄膜摩擦学性能的措施，展望了DLC薄膜摩擦学性能研究趋势。

• 单位
  上海应用技术大学