(Zn_(1-x)Mg_x)_2SiO_4基微波陶瓷的介电性能研究

作者：姜红梅; 张树人; 周晓华

来源：压电与声光, 2008, (05): 615-617.

• 硅锌矿
• 镁橄榄石
• Zn2SiO4
• 微波陶瓷 willemite
• forsterite
• microwave ceramics

对(Zn1-xMgx)2SiO4系统的微观结构和微波介电性能进行了研究。通过Mg取代硅锌矿Zn2SiO4中的Zn,用溶胶-凝胶法制得单一晶相的(Zn1-xMgx)2SiO4固溶体微波陶瓷。当Mg取代量超过其在硅锌矿Zn2SiO4中的最大溶解度时,分解为Zn2SiO4相和Mg2SiO4晶相;同时,通过调整x值(x=0.1~0.4,摩尔分数)可获得介电性能优良的微波瓷料。当x=0.2时,在1 170℃烧结,其微波介电性能为:介电常数rε=6.34,品质因数与频率之积Q×f=189 800 GHz(在f=15 GHz下测试的数据),谐振频率温度系数τf≈-62×10-6/℃。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室