光学自由曲面的加工参数对光散射的影响

作者:李迎春; 李欣*; 李吉祥; 孙江波; 王增路; 张壮壮; 刘非
来源:长春工业大学学报, 2022, 43(06): 635-741.
DOI:10.15923/j.cnki.cn22-1382/t.2022.6.01

摘要

椭圆振动车削加工是实现光学自由曲面高精度加工的有效方法之一。文中通过构建椭圆振动车削加工光学自由曲面的表面形貌模型与以Harvey-Shack散射理论为基础的光学性能模型,研究分析了椭圆振动车削加工过程中的进给量和刀尖圆弧半径对自由曲面光学元件光散射的影响。研究结果表明,随着进给量af的增大和刀尖圆弧半径r的减小,加工后表面粗糙度将会增大,像面能量将更加分散,光学零件的成像质量将降低。