基于非晶SiO2过渡层在硬质合金刀具基体上沉积金刚石涂层(英文)

作者：崔雨潇; 赵天奇; 孙方宏; 沈彬

来源：Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2015, 25(09): 3012-3022.

• 热丝化学气相沉积法
• 金刚石薄膜
• 硬质合金
• 过渡层
• 附着力

以氢气和正硅酸乙酯为反应源,采用前驱体裂解的方法在硬质合金基体上制备非晶SiO2(a-Si O2)薄膜。X射线衍射(XRD)分析表明,非晶薄膜与基体发生反应,并在界面上形成硅钴化合物。此外,透射电镜(TEM)表征表明,该薄膜由微米级的空心球团状的非晶SiO2颗粒构成。随后,将非晶SiO2薄膜作为过渡层,采用热丝化学气相沉积技术在过渡层上沉积金刚石涂层。通过压痕试验表征制备获得的金刚石-非晶SiO2复合涂层对硬质合金基体的附着力。通过加工玻璃丝纤维增强塑料(GFRP)表征该复合涂层的切削性能。结果表明,非晶SiO2过渡层可以有效地改善金刚石涂层对硬质合金基体的附着力。此外,非晶SiO2过渡层的厚度对金刚石涂层附着力的提升效果有很大影响。

• 单位
  机械系统与振动国家重点实验室; 上海交通大学