基于超材料的声表面波微流控芯片设计和工艺

作者：刘鹏; 赵欣洒; 于本知; 史韶杰; 马瑜娟

来源：电子工艺技术, 2021, 42(03): 128-177.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.03.002

• 声表面波
• 微流控芯片
• 声学超材料
• 工艺设计

声表面波(SAW)是一种能量聚集在基底表面传播的弹性声波。为了克服传统声表面波芯片声场分布不均匀、能量不集中和声场单一等缺点,将声学超材料和声表面波技术相融合,通过对基于声学超材料改进声场的芯片进行有限元仿真分析,实现低功耗声波激励下的声场局域增强、能量均匀分布的效果,进而加工并制作了铜柱阵列微结构的声表面波芯片。仿真模拟和实验测试均有效证实了声场能量均匀分布的特性,该研究对微流控芯片在细胞操控等领域的研究具有重要意义。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二研究所; 中北大学