拉曼光谱在第三代半导体材料测试领域的应用

作者：付丙磊; 张争光; 王志越

来源：电子工业专用设备, 2018, 47(04): 42-65.

• 拉曼光谱
• GaN
• 无损检测

对第三代半导体GaN材料体系的拉曼光谱测试进行了综述,并展望了其在第三代半导体无损检测领域的应用前景。