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摘要
针对太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号提取与传输存在的阻抗不匹配问题，设计并提出了一种输入阻抗为20Ω、输出阻抗为50Ω的渐变微带线结构，研究了该结构的准TEM模电场分布，并根据S参数建立了相应的LC等效电路模型分析其物理机理。实验中，将渐变微带线结构应用于太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号提取与测试，以验证渐变微带线传输射频信号效果，成功测量得到太赫兹量子级联激光器重复频率，其线宽为3.7 kHz，信噪比达到60 dB，在注入电流为700～900 mA范围内重复频率表现为稳定的单模信号，测量得到的最大保持和幅度艾伦方差结果同样表现出重复频率的稳定性。实验结果表明，所设计的渐变微带线具有良好的阻抗匹配效果，能够实现对太赫兹量子级联激光器光频梳射频信号稳定的提取和传输。
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单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海科技大学; 中国科学院大学
