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摘要
一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其制备。该滤波器是制作在高阻硅片的衬底上的集成电路,CPW共面波导地线和信号线构成感抗元件,MEMS开关一方面构成容抗元件,另一方面通过其通断改变共面波导的长度,使该滤波器的频率可调。该滤波器以高阻硅片为衬底,用与IC工艺兼容的工艺,通过热氧化,蒸发钛层和金层,正胶光刻、电镀,负胶光刻,腐蚀金层、钛层,去负胶,生长氮化硅膜,去除氮化硅膜,蒸发淀积铝硅合金膜,腐蚀铝硅合金膜形成桥膜和去除牺牲层等工艺步骤制得,有结构紧凑简单,尺寸微小,隔离度好,插入损耗低,控制电路功耗低,工作频率高,与传统的IC工艺兼容,成本低廉,适合于批量生产的优点。
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