大角度离子注入机控制系统软件设计

作者：伍三忠; 吴学忠

来源：微细加工技术, 2008, (06): 1-3.

• 大角度离子注入机
• 系统软件
• 软件模块
• 软件结构 the large tilt ion implanter
• software of system
• module of soft
• structure of software

介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。

• 单位
  中国人民解放军国防科学技术大学; 中国电子科技集团公司第四十八研究所