高温沉积方法制备多晶硅薄膜太阳电池具有电池效率高、制备成本低等优势，在光伏太阳能电池领域具有良好的发展前景。介绍了不同材料衬底制备高温沉积法制备多晶硅太阳能光伏薄膜的方法，介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的基本特点和制备工艺的技术要点，并综述了当前多晶硅薄膜太阳能电池面临的重点以及相关的前沿研究领域的最新进展。
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