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摘要
扇形X射线微孔器件(MPOS)是一种新型的X射线聚焦器件。相较传统微孔聚焦器件，其具有集成度高、轻量化等优势，在空间X射线探测方面具有应用前景。基于MPOS聚焦理论，设计并研制出MPOS聚焦器件，其微孔内壁粗糙度为0.4～0.5 nm,微孔排列精度约为5.5%。使用点对点X射线测试平台对器件的聚焦能力进行检测，结果表明，在工作电压为5.0 kV,电流为0.1 mA条件下，聚焦焦斑形貌为清晰的类六角星形，角分辨率为7.7′@1 keV。
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扇形X射线微孔器件(MPOS)是一种新型的X射线聚焦器件。相较传统微孔聚焦器件，其具有集成度高、轻量化等优势，在空间X射线探测方面具有应用前景。基于MPOS聚焦理论，设计并研制出MPOS聚焦器件，其微孔内壁粗糙度为0.4～0.5 nm,微孔排列精度约为5.5%。使用点对点X射线测试平台对器件的聚焦能力进行检测，结果表明，在工作电压为5.0 kV,电流为0.1 mA条件下，聚焦焦斑形貌为清晰的类六角星形，角分辨率为7.7′@1 keV。
