不同测试条件下TiN薄膜的摩擦学特性研究

作者：谢红梅; 聂朝胤

来源：真空, 2009, 46(04): 32-35.

• TiN薄膜
• 摩擦学特性
• 不同测试条件 TiN films
• tribological properties
• different testing conditions

采用电弧离子镀技术在45#钢衬底表面沉积了TiN薄膜。用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用球—盘式摩擦磨损试验机评价了在不同测试条件下(干摩擦,水润滑,油润滑)TiN薄膜的摩擦学性能,用表面轮廓仪测试了磨痕处的磨痕轮廓,用配有能谱仪(EDS)的扫描电镜(SEM)观察和测试了磨痕形貌和磨痕处主要化学元素组成。结果表明,相对于干摩擦,水润滑和油润滑条件下,TiN薄膜的摩擦系数和磨痕深度都有明显降低的趋势。干摩擦条件下,薄膜表现为磨粒磨损和氧化磨损;水润滑条件下,薄膜表现为疲劳磨损,水对薄膜起到边界润滑作用;油润滑条件下,薄膜几乎无磨损,油起到流体润滑作用。

• 单位
  材料科学与工程学院; 西南大学