提拉法生长晶体的超低速控制技术研究

作者：张睿平; 张吉月; 左海涛; 李建鸿

来源：工业仪表与自动化装置, 2018, (06): 43-47.

• 伺服电机
• 建模控制
• 超低速控制
• 增益列表

激光晶体提拉装置长期工作在超低速模式下,伺服系统受非线性摩擦干扰等因素在低速范围内出现速度爬行和抖动现象。在两相转子坐标系下对伺服系统进行矢量分析,建立了伺服系统的机理模型,提出变增益的列表控制方法。仿真和实测表明,这种增益列表的控制方式可以较好地消除伺服电机在整个低速段的爬行和抖动。

• 单位
  北京石油化工学院; 北京化工大学